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       隨著水污染越發(fā)嚴(yán)重和工業(yè)生產(chǎn)精度的提高，工業(yè)用水對水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)也越來越嚴(yán)格，客戶對工業(yè)用水的名稱或概念繁多，其中純水、高純水、超純水經(jīng)常被提及。那么純水、高純水和超純水有哪些區(qū)別呢?

       純水、高純水和超純水都是利用自來水、地表水或地下水等為水源，經(jīng)過預(yù)處理后，通過電滲析法（ED）、離子交換器法、反滲透法（RO）、電去離子法（EDI）等方法脫鹽后，再聯(lián)合紫外線殺菌器、脫氣膜等設(shè)備進(jìn)一步精處理，他們最主要的區(qū)別是水中含有的電導(dǎo)率（電阻率）、顆粒、TOC、細(xì)菌、溶解氧等水質(zhì)指標(biāo)，水中雜質(zhì)如果吸附或殘留在產(chǎn)品表面，會導(dǎo)致產(chǎn)品特性變差。如果以電阻率做為參考值來劃分，純水電阻率一般要求小于0.5MΩ.cm，高純水電阻率一般要求10-17MΩ.cm，超純水電阻率一般要求大于18MΩ.cm，其他數(shù)據(jù)可參考《ASTM D5127-07 表1：適用于電子及半導(dǎo)體工業(yè)的水質(zhì)要求》；如果以用途來劃分，純水一般用于普通電子工業(yè)（如線路板、電鍍等行業(yè)）、化工、鉛酸電池等行業(yè)，高純水一般用于玻璃、小尺寸液晶屏、光學(xué)、半導(dǎo)體封裝測試等對用水水質(zhì)有一定要求的行業(yè)，超純水一般用于光伏、半導(dǎo)體晶圓（芯片）、鋰電池等對水質(zhì)要求較高的行業(yè)。